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      EM科特臺式掃描電鏡日常的檢查、維護方法

    4. 發布日期:2021-12-09      瀏覽次數:126
      •   EM科特臺式掃描電鏡由于其具有高分辨率,大景深,放大倍數連續可調等優點,使其成為材料微結構表征的一種重要的分析儀器設備。在配備其它輔助探頭如能譜儀(EDS),波譜儀(WDS),陰極熒光探測器(CL)的情況下,還可以進行定性或定量的成分分析,缺陷、晶界分析以及電學性能測試等等。因此,掃描電子顯微鏡是目前的材料領域中不可少的研究工具。
          尤其是鎢燈絲掃描電子顯微鏡,其燈絲成本低,儀器真空度要求低,可滿足大多數樣品的測試要求,對其的機時需求也比較多。要保證得到樣品表面形貌和成分分析的準確性,其中一個重要的前提就是儀器本身是否處在合理的工作狀態。因此,對儀器管理人員而言,對鎢燈絲電鏡的日常維護,及如何針對故障進行排查就顯得更為重要。做好儀器的日常保養維護,及時發現潛在的問題,有利于降低儀器運行成本,提高儀器的使用效果,延長儀器的使用壽命。
          EM科特臺式掃描電鏡日常的檢查、維護:
          1.實驗室環境溫度應長期維持在20~24℃之間,濕度在50%以下。
          2.室內需保持清潔衛生,嚴禁在室內喝水、飲食。
          3.每日開機時,應先檢查室內的溫度、濕度以及開機時系統的隔夜真空情況。
          4.隔夜真空值以保持在150Pa以內為佳。如一旦超過250Pa,則需要馬上檢查樣品腔室是否存在密封問題。
          5.每月定期檢查機械泵油的情況。觀察其油液面高度及顏色。如液面高度降至1/3以下,或是油液顏色加深成黃色或渾濁,則需要及時更換。
          6.定期對儀器的像散、二次電子像分辨率等進行校正,以維持儀器良好的運轉狀態。
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