EM科特臺式掃描電鏡日常的檢查、維護方法

　　EM科特臺式掃描電鏡由于其具有高分辨率，大景深，放大倍數連續可調等優點，使其成為材料微結構表征的一種重要的分析儀器設備。在配備其它輔助探頭如能譜儀（EDS），波譜儀（WDS），陰極熒光探測器（CL）的情況下，還可以進行定性或定量的成分分析，缺陷、晶界分析以及電學性能測試等等。因此，掃描電子顯微鏡是目前的材料領域中不可少的研究工具。
　　尤其是鎢燈絲掃描電子顯微鏡，其燈絲成本低，儀器真空度要求低，可滿足大多數樣品的測試要求，對其的機時需求也比較多。要保證得到樣品表面形貌和成分分析的準確性，其中一個重要的前提就是儀器本身是否處在合理的工作狀態。因此，對儀器管理人員而言，對鎢燈絲電鏡的日常維護，及如何針對故障進行排查就顯得更為重要。做好儀器的日常保養維護，及時發現潛在的問題，有利于降低儀器運行成本，提高儀器的使用效果，延長儀器的使用壽命。
　　EM科特臺式掃描電鏡日常的檢查、維護：
　　1.實驗室環境溫度應長期維持在20~24℃之間，濕度在50%以下。
　　2.室內需保持清潔衛生，嚴禁在室內喝水、飲食。
　　3.每日開機時，應先檢查室內的溫度、濕度以及開機時系統的隔夜真空情況。
　　4.隔夜真空值以保持在150Pa以內為佳。如一旦超過250Pa，則需要馬上檢查樣品腔室是否存在密封問題。
　　5.每月定期檢查機械泵油的情況。觀察其油液面高度及顏色。如液面高度降至1/3以下，或是油液顏色加深成黃色或渾濁，則需要及時更換。
　　6.定期對儀器的像散、二次電子像分辨率等進行校正，以維持儀器良好的運轉狀態。